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粗糙度測(cè)量?jī)xSURFCOM CREST

?高精度.高速.高分辨率

?高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅?

?在驅(qū)動(dòng)部搭載線性馬達(dá)

?只需一次測(cè)量即可進(jìn)行粗糙度和輪廓的分析

?大量程橫向200mm 縱向13mm

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產(chǎn)品特點(diǎn) product feature

高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅?/span> ?應(yīng)用東京精密的要素技術(shù)之一的光纖激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)，開(kāi)發(fā)出分辨率0.31nm的高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅鞑⒋钶d在產(chǎn)品上。 ?動(dòng)態(tài)量程與分辨率之比高達(dá)42,000,000：1，一次跟蹤即可評(píng)價(jià)大范圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細(xì)表面形狀。

在驅(qū)動(dòng)部搭載線性馬達(dá) ?憑借線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了高精度·高速移動(dòng)。 ?電子低振動(dòng)化穩(wěn)定，可以實(shí)現(xiàn)高倍率測(cè)定。

只需一次測(cè)量即可進(jìn)行粗糙度和輪廓的分析 ?可在保持高精度的同時(shí)提高測(cè)量效率。 大量程 ? 橫向200mm，縱向13mm，測(cè)量范圍大。 ?可±45°自動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)部?jī)A斜（SURFCOM CREST-T型號(hào)）。

產(chǎn)品外觀 product appearance

粗糙度測(cè)量?jī)x外觀

產(chǎn)品規(guī)格 product structure

項(xiàng)　目	SURFCOM CREST
測(cè)量范圍	Z軸（縱向）	13 mm/50 mm 測(cè)臂、 26 mm/100 mm 測(cè)臂
測(cè)量范圍	X 軸（橫向）	200 mm
行程	立柱	500 mm
精度	Z 軸指示精度（縱向）	±0.2+IHI/1000 μm （H ：測(cè)量高度 mm）
	測(cè)量分辨率	0.31 nm/50 mm 測(cè)臂
	X 軸指示精度（橫向）	±0.2+L/1000 μm （L ：測(cè)量長(zhǎng)度 mm）
	測(cè)量分辨率	0.54 nm
直線度精度^※1		0.05+3 L/10000 μm （L ：測(cè)量長(zhǎng)度 mm）
系統(tǒng)精度 ^※1	系統(tǒng)噪音 ^※2	Ra ≦ 2 nm / 0.4 mm Rz ≦ 10 nm /0.4 mm
	球頭形狀誤差 ^※3	Pt ≦ 0.1 μm （φ30 mm以下）
	半徑測(cè)量的最大允許誤差 ^※4	≦± 1.0 μm （φ30 mm以下）
	長(zhǎng)度測(cè)量的最大允許誤差 ^※5	≦± (1+L/150) μm （L ：測(cè)量長(zhǎng)度 mm）
	角度測(cè)量的最大允許誤差 ^※6	≦± 0.5 min （±45度傾斜）
感應(yīng)方式	Z 軸（縱向）	高穩(wěn)定倍光路型激光干涉測(cè)長(zhǎng)傳感器
感應(yīng)方式	X 軸（橫向）	衍射光柵尺
速度	立柱上下速度（Z 軸）	? 200 mm/s
	驅(qū)動(dòng)部　測(cè)量速度（X 軸）	0.03 mm/s ? 3 mm/s （粗糙度測(cè)量時(shí)）、0.03 mm/s ? 20 mm/s （輪廓測(cè)量時(shí)）
	驅(qū)動(dòng)部　移動(dòng)速度（X 軸）	0.02 mm/s ? 60 mm/s
驅(qū)動(dòng)部?jī)A斜 ±45°		（T型號(hào)）
傳感器	測(cè)針	交換式
	測(cè)量力	0.75 mN
	測(cè)針半徑	2 μmR 標(biāo)準(zhǔn)配件（ 50 mm 測(cè)臂）
	測(cè)針材質(zhì)	金剛石
	功能	收縮功能
參數(shù)	電源電壓、頻率	單相AC100 ? 240 V ±10 %、 50/60 Hz
	氣源	供給壓力0.45 ? 0.7MPa、使用壓力 0.4 MPa、消耗量8 L/mm（最大）
	外形尺寸（W x D x H）	1405 mm×1050 mm×1851 mm
	質(zhì)量	700 kg
※1 ：標(biāo)配測(cè)針DM84145 使用時(shí) ※2 ：0.03 mm/s, 高斯濾波:λc=0.08 mm,λs=2.5 μm ※3 ：±45 度開(kāi)口角, 0.3 mm/s, 最小二乘圓計(jì)算,高斯濾波：λs=0.08 mm ※4 ：±45 度開(kāi)口角, 0.3 mm/s, 包含標(biāo)準(zhǔn)器的不確定性 ※5 ：0.3 mm/s, 包含標(biāo)準(zhǔn)器的不確定性 ※6 ：?jiǎn)蝹?cè)斜面的分析長(zhǎng)度5 mm 以上, 0.3 mm/s, 包含標(biāo)準(zhǔn)器的不確定性