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高精密測量系統(tǒng)儀器配套服務(wù)商

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銘尚精密 原裝進口 原廠技術(shù)
  • 超高精度CNC三坐標測量機MICROCORD LEGEX系列

超高精度CNC三坐標測量機MICROCORD LEGEX系列

?高精度水平

?固定橋結(jié)構(gòu)和精密空氣軸承

?位置檢測功能

?配有溫度補償功能

?提供豐富的選件

全國熱線

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產(chǎn)品特點 product feature

  • 超高精度CNC三坐標測量機MICROCORD-LEGEX系列
  • 高精度水平 ?LEGEX 系列為超高精度CNC三坐標測量機,具有高精度水平,對所有可能產(chǎn)生誤差的因素進行嚴格分析并消除或大程度地降低其影響。 固定橋結(jié)構(gòu)和精密空氣軸承 ?固定橋結(jié)構(gòu)和精密空氣軸承在高剛性導(dǎo)軌上運行確保了良好的運動穩(wěn)定性和超高幾何精度。采用 FEM 結(jié)構(gòu)分析模擬的徹底測試保證了幾何運動精度,使負荷及其它變量波動造成的誤差降低。另外,其他多種技術(shù)如抗振測量等用于驅(qū)動單元結(jié)構(gòu)中,實現(xiàn)了高精度。 位置檢測功能 ?配備有三豐超高精度標尺、熱膨脹系數(shù)幾乎為零的超高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高性能的反射型線性編碼器。為其性能提供了很好的位置檢測功能。 配有溫度補償功能 ?LEGEX 高精度系列三坐標測量機配有溫度補償功能,因此設(shè)置環(huán)境不需要恒溫控制室,就可以在 18-22oC 的溫度范圍內(nèi)保證主機精度。 提供豐富的選件 ?提供豐富的選件,包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測頭,數(shù)據(jù)處理部等支持超高精度測量,如要求高尺寸精度的齒輪、軸承、透鏡、硬?;驖L動轉(zhuǎn)子。

產(chǎn)品規(guī)格 product detail

項目/型號 LEGEX 574  LEGEX 774  LEGEX 776  LEGEX 9106
測量范圍 x軸 500mm 700mm 700mm 900mm
y軸 700mm 700mm 700mm 1000mm
z軸 450mm 450mm 600mm 600mm
測量方法 超高精度線性編碼器
最大測量速度 200mm/s
最大加速度 980mm/s 2
分辨力 0.00001mm
精度( JIS B7440-2 ) * 1
( 2013 
E 0, MPE
[L: 測量長度 ( mm ) 
( 0.28+L/1000 ) μm ( 19 ~ 21oC )
( 0.3+L/1000 ) μm ( 18 ~ 22oC )
P FTU, MPE  0.4μm
MPE THP  1.1μm  ( 60S )
導(dǎo)向系統(tǒng) 各軸均采用氣浮軸承
工作臺 材料 鑄鐵 * 2
尺寸 550 × 750mm  750 × 750mm  750 × 750mm  950 × 1050mm
緊固用螺釘孔 M8x1.25mm  ( 工件固定用 )
最大測量高度 706mm 696mm  867mm  861mm
最大負載 200kg  500kg  500kg  800kg 
重量 3900kg 5000kg 5100kg 6500kg
空氣供給 氣壓 0.4MPa* 3 
消耗量 120L/min* 5 ( 正常情況下)
*1  使用測頭 : MPP310Q 。
溫度變化 : 0.5oC/h,  溫度梯度 : 1oC/h 。
*2   也可選擇陶瓷涂層。
*3   需要 0.5MPa-0.9MPa 氣壓。
*4   需要 0.55MPa-0.9MPa 氣壓。
*5   需要 160L/min 以上氣壓。

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